中国科学家开发出新型飞秒激光等离子激元光刻技术,可加工石墨烯

2020-05-11  中国 来源:科技日报 领域:新材料

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据科技日报5月11日消息,中科院长春光学精密机械与物理研究所开发了一种新型飞秒激光等离子激元光刻技术(FPL)。利用该技术,研究人员在百纳米厚的硅基氧化石墨烯薄膜表面实现了高质量微纳周期结构的快速制备。研究首次证明了FPL技术在二维薄膜材料上能够实现大面积高质量亚微米周期结构的快速制备。得益于飞秒激光的非线性光学特点,FPL技术加工过程不易受材料表面缺陷、杂质等因素的影响,加工基底也不易受到材料种类的限制。加工材料表现出了优异的机械性能,可以利用传统的湿转移法进行完整转移,这为高效制备微纳结构石墨烯奠定了基础。

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