瑞典研究人员开发出二维材料转移新技术,为实现更小巧、功能更强大的设备开辟了道路

2021-04-26  瑞典 来源:新材料快讯 领域:新材料

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据新材料快讯4月23日消息,瑞典皇家理工学院基于现有的半导体制造工具包,使用双苯环丁烯(BCB)介电材料和传统的晶圆键合设备,合作开发出二维材料转移新技术,为实现更小巧、功能更强大的设备开辟了道路。研究人员用BCB树脂将两种晶圆粘合在一起,并加热树脂,直到它变得像蜂蜜一样粘稠,然后将2D材料压在上面。树脂在室温下固化,并在2D材料和晶圆之间形成稳定的连接。研究人员重复加热和压制的步骤来堆叠材料,树脂再次变得粘稠,支撑层堆叠并适应新的2D材料表面。研究人员演示了石墨烯和二硫化钼(MoS2)的转移,并将石墨烯与六方氮化硼(hBN)和MoS2堆叠成异质结构。所有转移的层和异质结构都是高质量的,在100毫米大小的硅片上具有均匀的覆盖范围,并且在转移的二维材料中几乎没有应变。

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