美国斯坦福大学发明了一种制造技术,可在柔性材料上生产出原子级薄晶体管

2021-06-21  美国 来源:科技日报 领域:新材料

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据科技日报6月18日消息,美国斯坦福大学研究人员在一层涂有玻璃的实心硅板上,沉积了一个原子级的2D半导体二硫化钼薄膜,上面覆盖着微小的纳米图案金电极。由于该步骤是在传统的硅基板上进行的,因此可以使用现有的先进图案化技术对纳米级晶体管尺寸进行图案化,从而实现在柔性塑料基板上无法达到的分辨率。然后,只要在去离子水中简单“洗个澡”,整个设备堆叠就会剥离,完全转移到柔性聚酰亚胺上来。经过一些额外步骤后,研究人员制造出柔性晶体管,其性能比以往用原子薄型半导体生产的任何晶体管都高出几倍。

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