2022-04-07 俄罗斯 来源：其他 作者：唐乾琛 领域：信息
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据新浪网4月6日消息，俄罗斯莫斯科电子技术学院（MIET）将承接俄罗斯联邦工业和贸易部项目，研发X射线光刻机。俄罗斯政府将向该项目投入6.7亿卢布资金（约合5100万元人民币）的首期资金，所研发的光刻机计划达到极紫外（EUV）光刻级别，但技术原理完全不同。X射线光刻机是基于同步加速器或等离子体源的无掩模X射线光刻机，所使用的X射线波长介于0.01nm到10nm之间，比极紫外光还要短，因此其光刻分辨率要高于EUV光刻机。此外，X射线光刻机相比EUV光刻机还有一个优势，即不需要光掩模版就可直接进行光刻作业，成本更低。全球范围内，中国、美国和欧洲都有X射线光刻的相关研，但尚没有能达到规模量产的X射线光刻机。而俄罗斯在X射线及等离子之类的技术上有着深厚的基础，因此具备一定研发实力。
