据劳伦斯·伯克利国家实验室网站6月22日消息，美国劳伦斯·伯克利国家实验室（LBL）和加州大学伯克利分校的研究人员开发了一种方法来制造厚度仅为25纳米的钛酸钡（BaTiO₃）薄膜，该薄膜用于代替硅材料制造微型电容器。研究人员采用脉冲激光沉积工艺，将紫外激光束发射到BaTiO₃陶瓷靶材上，使材料转化为等离子体，等离子体再将原子从靶材传输到表面上以生长薄膜，最后将一层BaTiO₃薄膜放置在两个金属层之间来制造微型电容器。未来研究人员计划进一步减小材料厚度，使新型超薄电容器与计算机中的真实设备兼容，并测试基于该电容器开发的电子设备的可行性。相关研究成果发表在《自然·材料》（Nature Materials）期刊上。

消息来源：https://newscenter.lbl.gov/2022/06/22/new-ultrathin-capacitor-could-enable-energy-efficient-microchips/