深圳大学开发出可真空直接批量制造的富边缘碳基柔性传感器

2022-11-03  中国 来源:其他 作者:董蓉 领域:先进制造

关键词:

据机器人大讲堂11月1日消息,深圳大学刁东风院士、张希研究员课题组提出了一种基于电子回旋共振(Electron Cyclotron Resonance,ECR)低温(125-175℃)真空直接制造技术的富边缘碳基柔性薄膜多响应器件,即柔性石墨烯纳米晶体嵌入碳结构(Flexible graphene nanosheet-embedded carbon,F-GNEC)薄膜电子皮肤,由聚酰亚胺基底、图案化金属层电极、功能薄膜材料以及顶部封装层组成。该纳米薄膜具有高密度的嵌入式垂直石墨烯纳米晶体,对弯曲电、光电、热电信号具有良好的检测能力。

消息来源:https://mp.weixin.qq.com/s/gRdbYyg2RqP33awIhxwYRA