比利时微电子研究中心与阿斯麦合作实现全晶圆级纳米孔制造,拓展极紫外光刻设备生物等领域应用

2025-12-23  比利时 来源:其他 领域:先进制造

关键词:

据MGClouds蘑菇云12月22日消息,比利时微电子研究中心(IMEC)借助阿斯麦(ASML)极紫外光刻(EUV)设备,成功实现纳米孔的全晶圆级制造,直径低至约10纳米,仅为头发丝的万分之一。ASML称此为设备“卓越生物医学应用”的突破。纳米孔通过检测分子穿越时的离子电流波动,可高灵敏度识别病毒、蛋白质、DNA等分子,是分子传感技术的核心。传统制备方法存在速度慢、成本高、局限于实验室等缺陷,而IMEC的技术在300毫米晶圆上实现高均匀性纳米孔量产,兼具高精度与可重复性,有望解决纳米孔传感器落地难题。行业评价认为,此项突破不仅拓展了EUV在生物医学领域的应用边界,更通过量产化能力推动分子精准检测技术向临床与工业场景普及,为疾病诊断、分子数据存储等领域提供关键技术支撑,标志着纳米孔技术从实验室走向大规模应用的重要跨越。
https://mp.weixin.qq.com/s/5ANnbYVyfiBg2zKuBBcWzg