据cnBeta网12月25日消息，比利时微电子研究中心（IMEC）首次成功利用荷兰阿斯麦（ASML）的EUV光刻设备，在300毫米晶圆上实现了固态纳米孔的晶圆级制造。该方法的突破在于利用EUV技术确保孔径高度一致，且这种方法与CMOS兼容，意味着生物传感器可像生产芯片一样大规模制造，为高通量生物传感器阵列研发开辟新道路。

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