据欧盟委员会5月20日消息，欧盟委员会已批准向德国提供2.88亿欧元的国家援助，用于支持半导体供应链中两家新工厂的建设。其中包括向蔡司公司提供2.22亿欧元，用于在巴登-符腾堡州奥伯科亨建设一座半导体生产设备制造厂，引进并实现下一代极紫外光柱的产业化；向Zadient公司提供6600万欧元，用于在萨克森-安哈尔特州比特费尔德建设一座半导体原料制造厂，采用循环系统高效生产超纯碳化硅 (SiC) 。据悉，此前通过《欧洲芯片法案》获批的措施累计拨款金额约139亿欧元，用于支持各种半导体技术和应用的制造。